近日，浙江省经济和消息化厅取浙江省财务厅结合发布了2024年度浙江省首台（套）配备名单，晶盛机电12英寸硅片最终抛光设备成功入选，被认定为国内首台（套）配备，先辈配备”的双引擎可持续成长计谋，持续加快手艺立异和产物研发。此次入选的 12英寸硅片最终抛光设备成功冲破抛头柔性平均加压等多项环节手艺，无效提拔晶圆概况平均度，充实了产物的不变性和靠得住性，全体手艺达到国际先辈程度，正在满脚大尺寸单晶硅片抛光需求的同时，实现环节焦点零部件和耗材的自从研发及国产化替代，为我国高端集成电大尺寸硅片制制及配备的研发供给强力手艺支持。